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高可靠性多晶硅装置尾气回收设备

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　成都瑞奇石油化工工程有限公司研发的高可靠性多晶硅装置尾气回收设备，是应用于多晶硅生产系统中，将尾气中的氯硅烷、氯化氢、氢气进行分离，得到纯净的氯化氢和氢气，并将其返回多晶硅生产系统中进行利用。
　　设备的先进性：
　　1、尾气组份与水（包括冷却水、冷冻盐水）进行换热的热交换器均采用了不锈钢双管板换热器，以确保管、壳程介质不接触，提高设备的安全性能。
　　...

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