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MEMS红外光源的研发中试，汽车工业用压力传感器产业化及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　1、MEMS红外光源：
　　微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz）。器件具有体积小（3毫米×3毫米×0.5毫米），功耗低（0.5～1.5W），发射效率高（百分之十二）和长寿命特点（不低于3年）。该光源的研制将填补国内空白，...

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