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一种铁电薄膜材料I-V特性的测量方法及测量装置

2009年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明提供一种铁电薄膜材料ⅰ－ⅴ特性的测量方法及装置，属于铁电薄膜材料测试领域。本发明的装置包括样品台、探针台、静电计、屏蔽罩、计算机及自动控制和数据处理软件，本发明的测量方法采用自编软件实现自动控制测量以及数据采集和处理，测得的铁电薄膜材料在不同电压下的漏电流值更接近于样品的真实漏电流值。本发明综合考虑了铁电薄膜材料的自发极化电流、介质极化电流、漏电流以及老化电流对ⅰ－ⅴ特性测量的影响，...
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