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磷化铟基量子级联激光器原子层尺度外延材料质量控制方法

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
利用本发明专利解决了量子级联激光器结构百层至千层氮原子尺度的外延层方法，这是发展QCL领域必须率先解决的问题。由于该外延方法属于量子级联激光器结构的核心技术，绝对保密，文献从不报导，而本发明专利填补了这项空白，发展了我国自主知识产权的磷化铟基量子级联激光器原子层尺度外延材料质量控制方法。
该发明专利已成功用于生长25级（400层）至100级（2225层）原子层和纳米量级...
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