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微结构多参数可溯源测量平台的研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
技术创新性与先进性
1)创建了测头的横向力学分析模型。建立了测头有限元仿真模型并进行测头结构的优化。模拟计算了测头的应力分布、刚度等性能参数,并通过仿真模型验证理论模型。研究测头的封装方式和固定方法,实现和外围处理电路的电连接。开展了微触觉测头的性能测试。创建了基于NMM的微触觉测头的性能测试系统,研究了压阻检测电桥输出微弱电信号的滤波、放大等方法,设计了压阻信号采集调...
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