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半导体传感器信号处理与特性检测

2009年 基础理论
  • 成果简介
　　技术领域：半导体传感器的精度校正，传感器的半导体基片及集成电路生产中扩散片、原始硅片的电阻率微区分布测量。
　　背景与意义：传感器的精度是衡量半导体传感器水平的主要指标。半导体材料对于温度变化很敏感，温度漂移问题在半导体传感器中尤为突出。随着集成电路的发展，特征尺寸已达90nm，对材料的电阻率均匀性要求越来越高。但是目前广泛使用的直线或方形四探针，只能分辨3毫米以上区域的均匀性。经...
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