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超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的纯化方法，旨在提供一种有效的降低硅溶胶中金属离子的含量，以提高晶片质量的硅溶胶的纯化方法。将盐酸注入阳离子交换树脂中搅拌，制备酸性阳离子交换树脂；然后将高金属离子含量的碱性硅溶胶加入到酸性阳离子交换树脂中，交换，同时测定Zeta电位，得酸性硅溶胶；将氢氧化钠注入阴离子交换树脂中搅拌，制备碱性阴离子交换树脂；将酸性硅溶胶加入到碱性阴离子交换树脂...
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