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高品质太阳能级直拉硅单晶的工艺技术研究及产品开发

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目针对太阳能级直拉硅单晶产业化进程中的三个问题，在单晶炉采用复合式加热器系统和热屏系统，采用掺氮工艺在太阳能级硅单晶大规模生产应用，以及采用优化制备工艺研制出高品种直拉太阳能级掺氮单晶硅。通过单晶炉改造，硅料熔化时间减小30分钟，单晶提拉速度从0.6mm/min升高到0.7mm/min，出片率从每米265片增加到290片以上，且破片率降低。...
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