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硅微超声换能器的研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
目前三维、四维（实时三维）超声成像已经成为超声成像及医疗诊断的发展趋势和研究热点，其最关键的部分是由几百甚至上万阵元组成的二维超声换能器阵列，并且要求各个阵元的阻抗特性、谐振频率、收发灵敏度等有较好的一致性，传统技术制造的超声探头在尺寸和一致性等方面很难满足要求，因此，我们提出了“硅微超声（压电式）换能器（PMUT）”的研究课题。在基金资助下，对换能器的换能机理和制备工艺进行了深入研究。建...
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