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微型气象传感器关键技术及其应用

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1.课题来源与背景
项目中的微型气象传感器是指采用CMOS（互补金属氧化物半导体）技术和MEMS（微电子机械系统）技术制造的气压、风速风向和湿度传感器。其主要应用包括高速公路气象检测、地面气象站、野外工作人员的便携式气象仪。在国家“八六三”计划等课题支持下，项目开展了微型气象传感器设计、加工、封装和可靠性等关键技术研究与开发，制造出性能指标满足国家行业标准的微型气象传感器。 <...

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