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超硬纳米多层薄膜

2004年 应用技术
  • 成果简介
该成果是在金属或陶瓷以及其他材料的基体上利用反应溅射沉积法制取NbN层和TaN层多层薄膜，可根据使用要求交替制取NbN层和TaN层。其具体制取工艺为：首先将金属或陶瓷等其他材料的基体表面作镜面抛光处理，利用反应溅射沉积法制取多层薄膜，交替制取NbN层和TaN层。其各层厚度控制在1.5nm-9.0nm，交替沉积多层薄膜总厚度为1μm-3μm。...
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