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高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜

2004年 应用技术
  • 成果简介
该成果开发了一种应用于金属-氧化物-半导体场效应管的高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜。其技术方案是把氧化铪和氧化铝粉末经球磨混合后，再冷压成片，然后在高温下烧结而制得铝酸铪陶瓷靶；而后利用脉冲激光沉积技术，在高真空低氧分压下，剥离铝酸铪陶瓷靶，在硅衬底上产生激光等离子沉积，而制成非晶态的铝酸铪薄膜。该薄膜具有高的热力学稳定性，并有较高介电系数和低漏电流。该材料的性能指标已达到国际同类产品的先进水平...
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