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等离子体诊断用复合探针

2004年 应用技术
  • 成果简介
该新型的复合探针主要用于高精度、实时及具有空间分辨力的等离子体参数测量。其特点是将朗谬尔(Langmuir)单探针与差分发射探针集成安装在同一探针管内形成一种新型的复合探针,结合朗谬尔(Langmuir)单探针扫描电路、差分发射探针空间电位自动跟踪电路、矩形波脉冲发生电路、计算机接口电路与自动采集与分析数据的计算机软件,实现对等离子体参数进行高精度测量。该探针的优点是测量精度高、测量速度快、可获取...
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