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用于聚焦成像系统的透明光阑

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种用于聚焦成像系统的透明光阑，它是由透明材料构成的平行平板上含有与光阑同心的凹带环或凸带环。光束通过带凹带环或凸带环的光阑后，与通过凹带环或凸带环以外的光束在光程上相差半个波长，也就是在空间相位上相差π。则沿轴向空间峰值相消，实现焦深的延长。沿径向其边缘相消，实现分辨率的提高。焦深延长倍数高于三倍。广泛应用于微电子加工，光刻技术和扫描显微技术中的聚焦和成像系统中。...
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