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一种利用（100）硅片制作的微机械光开关

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
光开关是光纤通信网中不可或缺的关键无源器件，它的功能是转换光路，以实现光信号的交换。传输网线路的转换与控制，用户网分路转换，以及光交换网的信道转换都需要使用光开关。采用微机械方法制作的光开关具有体积小，插入损耗小，串扰低，重复性高，与微电子工艺兼容，可批量生产的优势。
本发明充分利用Si材料本身的晶体结构特点，采用成熟的微机械工艺，结合独有的自对准、自定位设计，配合独具...
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