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SiCOI材料及其在高温微传感器中应用

2001年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目为上海市跨世纪科技人才培养工程资助项目--上海市青年科技启明星计划项目。SiC薄膜合成及其在高温微传感器和微机械系统中的应用已受到广泛重视。尽管SiC/Si异质结具备了SiC优异的高温性能和Si的成熟的平面和微机械加工工艺，但是SiC/Si在温度高于200摄氏度时，由于在Si衬底形成漏电流，使这一组合优势消失。而在SOI（绝缘体上硅）材料如SIMOX（氧离子注入SOI）沉积SiC薄膜...

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