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集成光波导型电磁场传感器

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  《集成光波导型电场传感器》课题是根据吉科合字第911043号科技项目合同,清华大学国家重点开放实验室并与日本东京大学国际合作研究完成。
  1、光波导传感芯片的研制
考虑传感器的实际应用,首先采用半导体激光光源,并为提高器件的灵敏度和温度稳定性,通过理论设计出二臂长差(相位差)为π/2的非对称分支干涉型结构,计算出器件的结构尺寸,于98年去日本东京大学国际合作研究期间由...
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