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面向MEMS精密作业的微小型移动机器人系统

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
成果来源于国家863计划“基于MEMS精密作业的微小型移动机器人系统及其示范应用研究”、国家自然科学基金“三自由度压电球形微操作手驱动机理及控制方法的研究”等研究项目,它以面向MEMS精密作业为目标,以集机构、驱动、检测、控制于一体的纳米级宏微定位移动平台为载体,搭载四分压电陶瓷管驱动的三自由度球基微操作器,以微小轴孔零件的装配为示范应用,实现了机器人大工作空间、快速、高分辨率作业。
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