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φ120mm金刚石自支撑厚膜

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　Φ120mm金刚石自支撑厚膜采用的是在磁控大口径长通道高功率直流电弧等离子体技术的基础上，使用超音速喷射和150千瓦级高功率直流电弧等离子体法工艺生产金刚石自支撑厚膜，实现了CVD金刚石自支撑厚膜的大面积，高性能，低成本制造。该产品生产无污染、卫生安全、节约能源，是国家大力提倡、鼓励开发的新型多功能材料。
　　Φ120mm金刚石自支撑厚膜是一种集硬度高、热导率大、传声速度快、绝缘性...
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