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半导体照明工程用VB-GaAs衬底材料

2008年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　在现有技术平台上，通过本项目的研究，解决了光电器件用VB-GaAs衬底材料生产中的瓶颈技术的重复性可控技术，诸如：热场设计、控制调试技术，引晶技术，成晶技术，载流子浓度控制技术，抛光片“Epi-Ready”技术等的重复可控性问题；全面建立、完善了VB-GaAs衬底材料的生产技术，使VB-GaAs衬底材料的制备技术达到实用化水平，并通过与工艺的结合，完善材料制备设备－VB单晶炉的设计更改，改造生...

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