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光学镀膜宽光谱综合监控系统

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
《光学镀膜宽光谱综合监控系统》是2004年广东省地市重点引导项目（编号：2004B16001084 ）本项目主要研究基于宽光谱分光光度测量，对镀膜过程中的光学薄膜的光学谱性进行实时检测，采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监测膜厚的光学镀膜在线膜厚监控系统。通过本项目的实施，开发了一套先进的光学镀膜宽光谱综合监控系统样机，并对LDSX－800低压反应离子镀膜机进行了...
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