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离子束辅助涂层（IAC）技术制备类金刚石超硬耐蚀膜层研究

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　类金刚石（DLC）膜具有硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等许多优良性能，可广泛应用于机械、电子、光学、声学、医学等领域。离子束辅助沉积DLC是近几十年来才发展起来的一项高新技术，它在沉积碳膜的同时，用一束载能离子束进行轰击，使沉积含碳粒子和轰击离子之间发生一系列物理化学作用，在低温下合成类金刚石，并提高膜的粘结强度。因此它特别适合用于机械工业中易磨蚀件表面改性。目前发达国家已初步将该技术应用于...
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