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RK DZQ270-1A电子束蒸发源

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
电子枪是一种使用在真空镀膜行业的产品,主要用途是高温蒸镀材料。国内外关于电子枪的设备已经很多,特别是国外,具有各种性能、功效、外型等,种类品牌都很多。
目前国内大多数电子枪都采用电磁偏转磁场,这种偏转方式束流不稳、束斑扁长、束能量不集中、扫描图形失真大、镀膜均匀性不好、灯丝拆卸麻烦、灯丝定位不准等缺点。
“RK DZQ270-1A电子束蒸发源”我是公...
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