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超声键合界面微结构生成机理、规律与技术研究

2008年 基础理论
  • 成果简介
1．课题来源与背景
为适应我国的微电子领域的发展，国家973项目、863项目、国家自然科学基金项目近年来先后启动多种微电子技术的研究计划。在此背景下，本课题来源于中南大学机电学院承担的973项目高性能电子产品设计制造精微化数字化新原理新方法“复合能场作用下微互连界面的微结构演变规律”(No.2003CB716202)、国家自然科学基金重大项目先进电子制造中的重要科学技术...
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