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底成本高品质金刚石膜生长技术和热沉应用

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目为“863”新材料领域重大项目。金刚石膜作为热沉，目前在美国、日本等国家已有批量产品出售，目前主要用于半导体激光器二极管和列阵的散热片是小尺寸金刚石膜热沉。但是，由于金刚石膜的制备成本高、加工难度大，大尺寸金刚石膜热沉价格很昂贵，还不能得到实际应用和推广，因此，为了满足大尺寸金刚石膜热沉的急需，并能得到广泛的应用，大幅度降低金刚石膜的成本，进一步完善关键技术是十分必要的。
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