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基于材料表面特性的MEMS微器件的可靠性研究

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
微机电系统（MEMS）作为一个新兴的研究领域，涉及力学、材料、物理、化学等多个学科，属于多学科交叉的前沿研究领域，引起了国内外的广泛关注。微器件表面之间粘附现象的存在，严重影响着微器件产品的性能及其可靠性。为提高产品的可靠性。该课题通过进行了大量调研，开展理论研究并结合实验分析，建立的粘附理论模型，对现有模型作出了完善；通过对不同加工工艺获得的同种材料表面进行表面性能的测试，分析了不同加工...
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