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标准硅片厚度测量装置

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
标准硅片是每个硅片和集成电路生产厂商在硅片生产过程中用于控制硅片厚度的标准样品。在生产流水线中以标准硅片为基准，用比较测量的方法测量产品硅片的厚度。生产厂商的标准硅片是通过计量部门校准后投入使用。随着上海及周边地区的生产厂商不断增多，标准硅片的数量呈上升趋势。硅片和集成电路生产中涉及长度计量的有硅片的厚度、平面度测量和集成电路标准图形。
目前硅片的厚度和集成电路标准图形...
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