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ITO导电膜玻璃

2007年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

一、项目主要技术内容：采用闭环反馈控制真空磁控溅射技术生产ITO导电膜玻璃，增强靶电源的稳定性及可控性，防止靶面氧化现象的发生，提高产品质量和经济效益。
产品采用直流磁控溅射工艺连续化生产，具有膜厚均匀、质量稳定等特点。在磁控溅射电源稳定自动控制技术、拼接窄形条靶的采用、反应气体氧气的均匀分布技术、基片温度均匀性控制技术方面有创新。
二、研制期限：2...

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