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衍射光学元件的应用技术研究

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
利用衍射光学理论，设计具有非平面片基的衍射光学元件，通过该元件产生标准的待检测非球面波面。把该衍射光学作为标准样板，其波面作为标准波面与待检测凸面非球面的波面进行干涉，经过干涉图的处理来检测非球面的面型。
本项目设计出了可以对凸面非球面进行检测的干涉仪；制作出了口径大于100mm的非平面衍射光学元件；制作出国内第一个利用非平面衍射光学元件进行凸面非球面检测的干涉仪。 <...
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