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ULSI铜内连线全局平面化机理及其材料的研究

2006年

基础理论

成果简介

该项目首先发现了铜离子与多胺有机碱形成极稳定且溶于水的络合物，从而确定了以化学作用为主的碱性介质下铜CMP的机理模型，即强络合、弱氧化、高浓度、小粒径、高活性，并制备出新型铜CMP碱性抛光液；本项目制备了一种速率快、平整度高、选择性好、损伤小、能有效控制金属离子沾污、不污染环境、易清洗的铜CMP抛光液，该项目居国际先进水平。...

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