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可用于光电器件衬底的优质氧化锌单晶生长技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
黄丰研究员及项目组立足解决氧化锌单晶生长中的单晶质量以及生长成本等关键问题展开研究。从化学势的角度出发，发明了一套可用于在较低温度和较低压力下水热生长优质氧化锌晶体的矿化剂体系并优化其生长工艺，以分析纯的原料生长出尺寸大于28mm的优质氧化锌晶体，发展了近规模化生长优质氧化锌单晶的设备及其生长工艺，为低成本工业化生长优质氧化锌单晶奠定了基础。发展了氧化锌晶体切割、研磨、抛光、退火等后处理技...
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