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扫描电声显微镜及其相关器件和材料

2008年 应用技术
  • 成果简介
扫描电声显微镜（SEAM）是一种多功能、高分辨率显微成像仪器。
本成果获得了具有自主知识产权的四项国家发明专利和一项国外发明专利，是国内外至今唯一实现商品化的电声显微镜，总体技术指标和功能处于国际先进水平。其中电声图像的横向分辨率、纵向分辨率、探测器灵敏度和图像质量处于国际领先。
　　电声显微镜在金属材料、半导体材料、无机材料、复合材料以及功能器件等领域获得...
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