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用于硅腐蚀的四甲基氢氧化铵腐蚀液及制备方法

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种用于硅腐蚀的四甲基氢氧化铵腐蚀液（TMAH）及制备方法，本发明用10wt%TMAH腐蚀液，在60 C温度下，溶入1.5～1.75摩尔/升硅粉，再升温到90 C，溶入3.0～5.0克/升过硫酸铵，1.0～2.0克/升吡嗪，溶解后得到所要求的四甲基氢氧化铵腐蚀液（TMAH）腐蚀液。该腐蚀液对硅（100）面有约1 m/min的腐蚀速率，铝膜不被腐蚀，同时被腐蚀硅表面平整。实验检验得...
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