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并行式飞秒激光三维纳米光子学微结构加工技术

2008年 基础理论
  • 成果简介
本项目研究了利用飞秒脉冲激光在透明介质中进行微加工的相关基本问题。通过研究，我们搭建了具有实时监视功能的飞秒微加工系统。在此基础上，我们成功地制造了达曼光栅，所制备的光栅衍射效率达到设计值的80%。同时，我们还成功制备了光子晶体、扇形光栅等。我们发展了基于波前调整技术的并行加工方法。我们使多束脉冲同时入射到聚焦镜上，调整光束波前曲率半径，使其焦点沿光轴发生位移，由此实现多层光学微结构的并行...
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