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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工

2004年 应用技术
  • 成果简介
　　以甲醇为溶剂，硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物，采用溶胶－凝胶方法，通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH)，使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物，得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜，提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法。UV-Vis分光光度计的紫外光谱测试结果表明：乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下，可以存在于凝胶薄膜中，并具有较好的热稳定性和光化学稳定性，其紫外光谱的特征吸收峰大...
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