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13.9nm软X射线多层膜分束镜

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
利用类镍银13.9nm 软X射线激光马赫－贞德干涉仪直接测量激光等离子体电子密度是863-804-7 X射线专题十五中的重要任务。在软X射线马赫－贞德干涉仪中使用的高反射多层膜镜国内已有多年的研究经验，制作出的多层膜反射镜已可以满足干涉实验的要求。但在多层膜分束镜的研究上一直进展缓慢，无13.9nm分束镜可以实用。在863-804-7专题的资助下，课题组于2001年开始13.9nm多层膜分...
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