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低温等离子体中离子输运特性对薄膜生长的影响

2001年 应用技术
  • 成果简介
设计了离子收集系统，成功测量了在磁镜场中等离子体能量分布、等离子体温度等微观输运特性参数。利用蒙特卡罗方法计算了外磁场对等离子全输运过程的影响，结果表明利用外磁场可大大增加电子和离子的密度等。详细考虑了基底表面吸附粒子与最近邻和次近邻粒子间的相互作用，首次研究了等离子体近表面离子能量对薄膜生长初期形貌的影响，结果表明低能离子照射增加了吸附粒子表面扩散能力，改善了薄膜生长过程；随离子能量升高...
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