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含初应力压电层状结构中表声波性能研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
以微机电系统中高性能表声波器件的理论探索为背景，研究压电层状结构（典型结构形式为薄膜/基底结构或者多层结构）中由于热失配以及制造过程中不可避免的本征应力而产生的初应力对表声波（广义Bleustein-Gulyaev波，Love波及广义Rayleigh波等）的传播特性的影响。主要内容为：结合实验研究，在薄膜/基底层状结构自由表面不同电学边界条件下分析初应力对于Love波的相速度及相应的机电耦...
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