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金属薄膜材料的织构及相关性能的研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
针对金属薄膜，考虑表面能、界面能、晶界能和应变能建立薄膜晶粒生长理论模型并用计算机模拟；用透射电镜和X射线衍射分别测量沉积和退火膜晶粒尺寸和织构；研究金属薄膜的宏、微观织构的形成及退火晶粒生长和织构变化的机理和规律；探索通过织构设计提高薄膜材料性能的途径；解决织构相关性能的定量预报和控制；用以指导金属薄膜的设计与应用。...
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