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微波激励大体积等离子体源的研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
建起了一套大体积、大面积表面波等离子体源并完成了其参数优化，能产生直径30cm高50cm的平面状或柱状高密度等离子体，且掌握了开发更大面积、更大体积高密度等离子体的理论依据和实验规律；对表面波等离子体产生的机理及微波与等离子体相互作用的机理均作了深入的研究，对等离子体密度跃迁和分布与模式转换、气压、微波功率、天线形状之间的关系均作了大量的理论和实验研究，得出合理的解释；在本等离子体源上做子...
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