首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
采用自洽微波功率吸收，并计入中性粒子输运效应的电子流体—离子粒子的两维混合模型，研究了ECR等离子体参数及工艺特征参数随运行条件的变化，结果表明：等离子体参数（电子温度、电离速率、等离子体密度及位势）与微波功率吸收剖面保持相近或相似的分布特征；离子速度分布随运行条件（如气压）及空间位置的变化会出现模式的变化；基板表面的离子电流密度随气压的增加会出现饱和现象。在适当的运行件下，ECR等离子体...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统