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微型可编程相位光栅技术的原理与实验研究

2006年 应用技术
  • 成果简介
本项目提出了一种新颖的基于微型光机电系统集成的可编程相位光栅技术。这种可编程相位光栅的等效特征参数可以通过MOEMS技术实现连续可编程控制，在许多技术领域比普通光栅扮演着更重要的角色。本项目研究的内容主要包括：（1）可编程相位光栅的原理性理论研究；（2）可编程相位光栅的结构设计及其加工工艺，光栅样机的研制；（3）可编程相位光栅原理性实验装置的建立和样机性能的测试、分析和研究。项目研究取得了...
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