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硅基超薄介质膜的扫描探针显微术研究

2002年 应用技术
  • 成果简介
本项目利用超高真空扫描探针显微术对硅材料表面超薄介质膜的形成过程，表面结构以及物理性质进行了研究，内容包括：低粗糙度硅衬底表面的获得及其扫描隧道显微术表征，硅基超薄Si氧化膜的干氧氧化法制备，表面结构，氧化过程对表面粗糙度的影响及热稳定性研究，这对半导体微电子器件的发展具有十分重要的指导意义，鉴于半导体工业的发展趋势，我们还进行了高介电常数稀土金属氧化外薄膜生长研究的前期工作，主要采用电子...
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