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硅微机械动构件间的摩擦学特性与传力效率

2001年 应用技术
  • 成果简介
以磨擦学系统和磨擦学设计的观点与方法，对基于表面硅微工艺所开发的薄膜平面型微机械结构，用实物实验和数值分析手段，研究力和运动传递过程中各动构件的尺度效应对磨擦机理和磨擦学基本参数的影响；建立了微谐振器的五次超静定力学模型，探讨了微尺度条件下间隙流体阻力、表面粘附阻力和静电阻力的微磨擦机理问题；对比试验了工艺参数对微机手传力效率的影响和微磨擦力对滑块与拉簧运动的影响。动件运动速度、名义面积，...
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