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低能氮离子注入金刚石薄膜的氮化改性研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
本项目用氮离子注入和脉冲放电氮化金刚石膜，然后在氮化表面生长碳氮膜并研究其物理和光学特性。我们自行研制的离子束源，其原子离子的比例大于99%，远高于商用离子源。离子注入在金刚石表面有效地形成了beta-C3N4，然后用弧热氮原子束结合激光烧蚀石墨在氮化金刚石表面外延生长了beta-C3N4薄膜，首次在国际上得到了与理论计算符合得很好的Raman光谱，对证明b-C3N4合成的可能性具有重要意...
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