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通信用关键微光机电器件的研究

2002年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
近年来，由微机械、微电子、微光学结合为小型光纤通讯器件的实现提供了崭新手段，其最吸引人的优点是体积小，与大规模集成电路的制作工艺相兼容，易于大批量生产，降低成本。
光开关是光纤用户网中用量最大的关键器件之一，在未来的全光网络通信和光纤到户将会发挥重要的作用。微机械光开关除了与传统的机械光开关一样，具有消光比大、串扰小的优点外，还具有批量化和成本低的优点。本项目采用微机械...
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