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光电传感与微纳技术的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
  光电集成传感技术集激光技术、微电子器件和微机械装置与一体。
  1、激光自混合效应及有源传感技术——系统地研究了激光自混合效应的理论及干涉传感技术,研究激光自混合干涉传感的重要理论和关键技术:
  (1)激光自混合干涉信号调制和解调的方法;
  (2)激光自混合散斑干涉原理和测速技术;
  (3)激光自混合干涉测量微位移和微轮廓的关键技术(用于微...
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