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金属微构件批量加工方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　项目简介及应用前景：金属微构件批量加工方法，属于微机电系统技术领域。首先根据待制备微构件的形状制备模具，然后利用模具在高分子聚合物基片上批量压印出高分子聚合物模具，接着高分子聚合物表面导电处理，再对表面导电的高分子聚合物模具进行微电铸，再磨平电铸后表面多余金属，最后去除高分子聚合物基片得到所需要的金属微构件。本发明利用模具在高分子聚合物基片上低成本批量压印出高分子聚合物模具，并对表面导电的高分...
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