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AIN薄膜腔谐振器

2007年

应用技术

成果简介

　　项目解决的主要问题：
　　滤波器的应用领域扩展到高频；使滤波器具有极低的损耗及很高的品质因数；可处理大的功率，且频率特性的湿度系数明显低于SAW滤波器；与以往滤波器相比，尺寸大幅度减小。
　　项目主要内容：
　　过优化溅射条件，择优选取底电极。制备具有平滑表面、强C轴取向和大压电系数的AIN薄膜，运用电极－AIN薄膜－电极的夹心结构，通过腐蚀衬底生成空腔，减...

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