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过滤式温控氦气节流阀

2006年 应用技术
  • 成果简介
项目简介：很多物理实验需要在压强小于10～7Pa的超高真空条件下进行，向真空系统中充入微量的高纯度氦气可对工作物质起缓冲或冷却作用，要在不破坏系统真空度的情况下充入微量的高纯度氦气，通常的方法是：在真空系统以外，通过管道连接一个装有氦气的气瓶，要将预抽系统的真空度抽到与系统真空度相同，这需要花费大量的人力和物力。而且，这种充气方法是将气瓶中的氦气直接通过微漏阀门充入真空系统中，不能保证充入...
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